路维光电:储备有150nm制程节点掩膜版制造技术
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1、【路维光电:储备有150nm制程节点掩膜版制造技术】 公司已实现180nm及以上制程节点半导体掩膜版量产,同时储备有150nm制程节点掩膜版制造技术和OPC、PSM等应用于中高端半导体掩膜版的制造技术,满足国内功率器件、光电器件、传感器、先进半导体芯片封装等应用场景,为我国半导体行业的发展提供关键上游材料国产化配套支持。
2、此外,公司积极开展130nm及以下制程节点掩膜版产品的工艺技术开发,籍此不断提升公司在半导体掩膜版行业的技术能力和竞争力,为保障国内半导体供应链安全和良性发展做出积极贡献。
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